传统的光刻技术中，镜头与光刻胶之间的介质是空气，而浸没式技术是将空气介质换成液体，得到合适波长的光，以提高成像分辨率，以下说法错误的是( )。

admin2022-03-23 77

问题传统的光刻技术中，镜头与光刻胶之间的介质是空气，而浸没式技术是将空气介质换成液体，得到合适波长的光，以提高成像分辨率，以下说法错误的是( )。

选项 A、液体局部温度起伏会引起成像质量恶化
B、为了减少液体对光线的吸收，液层厚度不能太大
C、以纯水为介质时，可以选取任意波长紫外光为光源
D、可以注入高折射率的液体以得到更高频率的光，提高成像分辨率

答案C

解析第一步，本题考查科技常识并选错误项。
第二步，水作溶剂时。最低波长极限是210nm，所以一般吸收都在远紫外区。因此以纯水为介质时，不能够选取任意波长紫外光为光源。C项错误，本题为选非题。C项符合题意。
因此，选择C选项。

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