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传统的光刻技术中,镜头与光刻胶之间的介质是空气,而浸没式技术是将空气介质换成液体,得到合适波长的光,以提高成像分辨率,以下说法错误的是:
传统的光刻技术中,镜头与光刻胶之间的介质是空气,而浸没式技术是将空气介质换成液体,得到合适波长的光,以提高成像分辨率,以下说法错误的是:
admin
2022-10-27
23
问题
传统的光刻技术中,镜头与光刻胶之间的介质是空气,而浸没式技术是将空气介质换成液体,得到合适波长的光,以提高成像分辨率,以下说法错误的是:
选项
A、液体局部温度起伏会引起成像质量恶化
B、为了减少液体对光线的吸收,液层厚度不能太大
C、以纯水为介质时,可以选取任意波长紫外光为光源
D、可以注入高折射率的液体以得到更高频率的光,提高成像分辨率
答案
C
解析
第一步,本题考查科技常识并选错误项。第二步,水作溶剂时,最低波长极限是210nm,所以一般吸收都在远紫外区。因此以纯水为介质时,不能够选取任意波长紫外光为光源。C项错误,本题为选非题。C项符合题意。因此,选择C选项。
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